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震動 (Vibration),特別是20Hz以下的低頻震動,會對電子顯微鏡造成很大的干擾。
受干擾的高分辨圖像 (例如放大至30萬倍),水平方向會出現明顯的毛刺,並且圖像的清晰度和分辨率會大大下降。
各個電鏡廠商,對於自家不同系列,不同型號的產品,都會分別設有不同的震動標準。安裝電鏡前,需事先現場勘察及測試,如果環境震動超標,就需要採取適當的減震措施,否則廠商不能保證電鏡的性能可以發揮至最佳設計標準。
一般的減震措施包括安裝混凝土減震台 (Anti-Vibration Foundation),被動式減震器 (Passive Vibration Isolation Platform),主動式減震器 (Active Vibration Isolation Platform)等。
這些設備有效消除環境震動對電鏡造成的干擾,使電鏡能在最大性能下持續運作。
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